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2000
Conference Paper
Title
Oberflächen und Reinigung
Other Title
Cleaning Surfaces in Cleanrooms
Abstract
Bei der Reinigung von Oberflächen sind in der Regel keine universellen Reinigungsabläufe möglich. Jede Reinigung muß an das Produkt und den Produktionsablauf angepaßt sein. Art und Konzentration der Kontamination müssen bei der Reinigung berücksichtigt werden. Für höchste Ansprüche ist ein durchgängiges Reinigungskonzept von der Einzelteilbearbeitung bis hin zur Endreinigung unumgänglich. Im Rahmen dieser Arbeit werden kurz einfache Zusammenhänge und Mechanismen von Oberflächenkontaminationen erläutert. Unterschiedlich chemische und mechanische Reinigungsverfahren werden hinsichtlich ihrer Wirkungsmechanismen, Anwendbarkeit und Reinigungsleistung verglichen. Am Beispiel der Ultrachallreinigung, der Laserreinigung und der Kohlendioxidreinigung, die sich besonders für die Mikroreinigung eignen, werden Grundlagen und Wirkungsweisen erläutert.