Fraunhofer-Gesellschaft

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Verfahren zur tiefenaufgelösten Polarisationsbestimmung in pyroelektrischen Dünnschichten

Method for investigation the spatial polarization distribution of pyroelectric thin films
 
: Sandner, T.; Gerlach, G.; Suchaneck, G.

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf; Informationstechnische Gesellschaft -ITG-:
Sensoren und Messsysteme 2004 : 12. GMA/ITG Fachtagung, 15.03.2004 - 16.03.2004
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2004 (VDI-Berichte 1829)
ISBN: 3-18-091829-2
pp.441-451
Fachtagung Sensoren und Messsysteme <12, 2004, Ludwigsburg>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPMS ()
thin film; polarization

Abstract
Im vorliegenden Beitrag werden einige wesentliche Grundlagen zur Bestimmung der tiefenaufgelösten Polarisationsverteilung in pyroelektrischen PbZrxTi1-xO3-Dünnschichten vorgestellt. Den Schwerpunkt bildet die methodische Weiterentwicklung der Temperaturwellenmethode (Laser Intensity Modulation Method, LIMM), die bisher zur Untersuchung von Dünnschichten nicht anwendbar war. Erstmals werden systematisch die Unsicherheitsbeiträge betrachtet, welche die Gesamtunsicherheit des LIMM-Verfahrens, das aus mathematischer Sicht ein invers schlecht gestelltes Problem darstellt, beeinflussen. Insbesondere wird der Einfluß des mathematischen Rekonstruktionsverfahrens sowie die Tiefenauflösung erörtert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-21997.html