Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Polierverfahren in der Halbleiterfertigung

 
: Pfitzner, L.; Bär, E.; Frickinger, J.; Nguyen, H.; Nutsch, A.

Möller, H.J.; Roewer, G. ; TU Bergakademie, Freiberg:
Halbleitermaterialien, Prozesstechnologie und Diagnostik : Freiberger Siliciumtage 2003, Freiberger Forschungsforum, 54. Berg- und Hüttenmännischer Tag 2003, 19. bis 21. Juni 2003
Freiberg: TU Bergakademie, 2004 (Freiberger Forschungshefte. B 327)
ISBN: 3-86012-218-5
pp.136-152
Freiberger Siliciumtage <2003, Freiberg>
Freiberger Forschungsforum <2003, Freiberg>
Berg- und Hüttenmännischer Tag <54, 2003, Freiberg>
German
Conference Paper
Fraunhofer IISB ()
Polierprozeß; Siliciumscheiben-Herstellung; Halbleiterfertigung; integrierte Schaltung; Prozess-Simulation; Scheiben-Reclaim; Prozess-Kontrolle

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-21963.html