Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Simulationsgestützte Untersuchung von logistischen Optimierungsstrategien bei Halbleiterfertigungsprozessen

 
: Pfeffer, M.

:
Fulltext (PDF; )

Erlangen, 2012, ii, 158 pp.
Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2012
URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-32298
German
Dissertation, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-219501.html