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1999
Conference Paper
Titel
Inspektion technischer Oberflächen
Alternative
Inspection of Technical Surfaces
Abstract
Aufzeigen und detaillierte Beschreibung von Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen. Klassifizierung von Anforderungen an Materialien der Fertigungsumgebung.