Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Noch schneller zu sauberen Oberflächen im Vakuum

Zwei Neuentwicklungen im Bereich des Sputterätzens
 
: Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Scheffel, B.

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Fulltext urn:nbn:de:0011-n-2172780 (2.4 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: bcdde47b90e74c34e69287c08c5ffe4b
Created on: 20.04.2013


Magazin für Oberflächentechnik : mo (2012), No.10, pp.24-27
ISSN: 0026-0797
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()
PVD-Beschichtung; Plasmavorbehandlung; Vakuum; Sputterätzen

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-217278.html