Fraunhofer-Gesellschaft

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Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen

Development of an integratable optical metrology system for line-width control of periodical submicron structures
 
: Benesch, N.

Aachen: Shaker, 2003, III, 180 pp. : Ill.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2003
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 2003,6
ISBN: 3-8322-1766-5
German
Dissertation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-21713.html