Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten

 
: Jobst, Paul Johannes; Schürmann, Mark; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert

Grünler, Bernd (Ed.) ; Innovent e.V., Jena:
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik, ThGOT 2012 und 3. Optik-Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" : 4. - 6. September 2012, Leipzig
Leipzig, 2012
ISBN: 978-3-00-038451-6
pp.419-420
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik (ThGOT) <8, 2012, Leipzig>
Optik-Kolloquium Dünne Schichten in der Optik <3, 2012, Leipzig>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-216100.html