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Substrathalter für die Oberflächenbehandlung von Substraten und Verwendung des Substrathalters

SUBSTRATE HOLDER FOR THE SURFACE TREATMENT OF SUBSTRATES, AND USE OF THE SUBSTRATE HOLDER
 
: Reinwand, D.; Hofmann, M.; Trogus, D.; Hartmann, P.; Nekarda, J.

:
Frontpage ()

DE 102010052689 A
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die Erfindung betrifft einen Substrathalter fuer die Oberflaechenbeschichtung von Substraten, der in Rahmenform ausgebildet ist. Beim erfindungsgemaessen Substrathalter ist eine schraege Kantenflaeche vorgesehen, auf dem das Substrat aufliegt, so dass eine vollstaendige Beschichtung der Oberflaeche ohne Umgriff auf nicht erwuenschte Bereiche des Substrates erfolgt. Die Erfindung betrifft weiterhin die Verwendung eines derartigen Substrathalters.

 

The invention relates to a substrate holder for the surface coating of substrates which is in frame form. The substrate holder according to the invention is provided with an oblique edge face on which the substrate rests, so that the surfaces is coated completely without any spread to unwanted regions of the substrate. The invention also relates to the use of such a substrate holder.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-214480.html