Fraunhofer-Gesellschaft

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Table-Top Streulichtmesssystem ALBATROSS-TT

 
: Finck, A. von; Hauptvogel, M.; Duparré, A.; Notni, G.; Tünnermann, A.

DGaO-Proceedings. Online journal (2011), Paper A10
http://www.dgao-proceedings.de/home/home_d.php
ISSN: 1614-8436
Deutsche Gesellschaft für Angewandte Optik (DGaO Jahrestagung) <112, 2011, Ilmenau>
German
Journal Article, Conference Paper
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Streulicht-basierte Verfahren zeichnen sich durch hohe Robustheit, Sensitivität und Schnelligkeit aus und sind daher besonders zur effizienten Analyse von Oberflächen, Materialien und Beschichtungen geeignet. Dem dringenden Bedarf an einem Table-Top Streulichtmesssystem für den Einsatz in Forschung und Entwicklung (Substrat Finishing, Beschichtung, etc.) wurde mit dem am IOF entwickelten System ALBATROSS-TT entsprochen. Durch geringe Abmaße (<1 m³) sowie vollständige Einhausung wird der flexible Einsatz nahe am Prozess möglich. Ein Dynamikbereich von 13 Größenordnungen bei 532 nm in Kombination mit einem niedrigen Hintergrundniveau von 2E-08 1/sr erlaubt die Charakterisierung von technischen bis hin zu superpolierten optischen Oberflächen mit rms-Rauheiten <0,1 nm. Eine Messunsicherheitsbetrachtung des Systems wird vorgestellt. ALBATROSS-TT wurde mit einem 3D-Detektorpositioniersystem ausgestattet, das detailliertere Untersuchungen wie die Anisotropieanalyse diamantgedrehter Oberflächen oder die Charakterisierung komplexer Streulichtverteilungen von z. B. Gittern, Schichtsystemen und Edelsteinschliffen ermöglicht.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-211488.html