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2011
Doctoral Thesis
Titel
Modellierung von Prozessschritten zur Umlagerung rekombinationsaktiver Defekte in kristallinem Silizium
Abstract
Während des Herstellungsprozesses von kristallinen Siliziumsolarzellen kommt es zu einer Umverteilung von absichtlich eingebrachten Dotierstoffen und metallischen Verunreinigungen. In der vorliegenden Arbeit werden Modelle zur Beschreibung dieser Diffusions- und Umlagerungsprozesse vorgestellt und deren breite Anwendbarkeit durch Vergleich mit experimentellen Daten gezeigt. Das auf diese Weise erweiterte physikalische Verständnis ermöglicht eine verbesserte Kontrolle und Vorhersage für die gesamte Prozesskette. Ein Schwerpunkt liegt auf dem Präzipitations- und Umlagerungsverhalten von Eisen, für das u.a. verschiedene Optimierungsmöglichkeiten evaluiert werden.
ThesisNote
Zugl.: Konstanz, Univ., Diss., 2011
Language
German