Fraunhofer-Gesellschaft

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Analytik II: Filmische und partikuläre Verunreinigungen; Möglichkeiten der In-Line Inspektion

 
: Rochowicz, Markus

Fraunhofer-Allianz Reinigungstechnik; Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. -FhG-, München:
Grundlagenseminar Reinigungstechnik 2012. Bd.2 : Reinigung in der Produktion, 13. Juni - 15. Juni 2012, Dresden
München, 2012
pp.137-151
Grundlagenseminar Reinigungstechnik <2012, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Qualitätsmanagement; Partikelmesstechnik; Analytik; Partikel; Messen

Abstract
Neben filmischen Verunreinigungen, die beispielsweise die Haftung von Oberflächenbeschichtungen behindern können, spielen Partikel als Verschmutzung für viele Bauteile, Substrate und Verarbeitungsschritte eine kritische Rolle. Für manche reinheitssensitive Anwendungen ist eine statistische oder Stichprobenprüfung ausreichend, andere hingegen erfordern eine vollflächige Prüfung aller Teile oder Oberflächenbereiche.
Der Vortrag gibt einen Überblick über Methoden und Geräte zur Erfassung und Quantifizierung von partikulären und filmischen Verunreinigungen auf Oberflächen und Bauteilen am Beispiel unterschiedlicher Branchen und Substratoberflächen. In vielen Anwendungen ist allerdings der Einsatz von direkten Messverfahren auf den zu verarbeitenden Teilen und Oberflächen nicht möglich - es kommen dann Probe nehmende Verfahren zu Einsatz. Auch diese werden im Rahmen des Vortrags vorgestellt. Der Schwerpunkt des Vortrags liegt dabei nicht primär auf aufwändigen Labormethoden, wie sie bspw. in der Schadensanalytik eingesetzt werden, sondern auf einfachen Verfahren die produktionsnah eingesetzt werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-209367.html