Fraunhofer-Gesellschaft

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Piezoresistive Miniaturkraftsensoren in LTCC

 
: Lenz, Christian; Ziesche, Steffen; Partsch, Uwe

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-2092928 (344 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: 0060db93bc8fd5b3ce399965d8406489
Created on: 26.9.2017


Gerlach, G. ; Forschungsgesellschaft für Messtechnik, Sensorik und Medizintechnik e.V. -FMS-, Dresden:
10. Dresdner Sensor-Symposium 2011 : Dresden, 5. - 7. Dezember 2011; Miniaturisierte analytische Verfahren, Hochtemperatur-Sensoren, Sensoren für Bioprozess- und Verfahrenstechnik, Sensoren für die Medizin, Chemische Verfahrenstechnik, Lebensmittelanalytik, innovative Sensorlösungen, Sensoren für die Wasserqualität, Selbstüberwachung
Dresden: TUDpress, 2011 (Dresdner Beiträge zur Sensorik 43)
ISBN: 978-3-942710-53-4
pp.207-210
Dresdner Sensor-Symposium <10, 2011, Dresden>
German
Conference Paper, Electronic Publication
Fraunhofer IKTS ()

Abstract
In dieser Arbeit präsentieren wir die neuesten Entwicklungen von piezoresistiven Miniaturkraftsensoren mit verschiedenen Verformungskörpern in LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) und siebgedruckten Dickschichtwiderständen am Fraunhofer IKTS. Dazu wurden verschiedene Sensorvarianten konzipiert, hergestellt und hinsichtlich ihrer Eigenschaften untersucht. Der Fokus ist bei der Entwicklung besonders auf eine hohe Genauigkeit, eine kosteneffiziente Fertigung durch Miniaturisierung und die Sensorhausung gelegt. Einige wichtige Entwicklungsschritte und Ergebnisse werden hier vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-209292.html