Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für Implantate

AlN-based microelectromechanical Structures for Implants
 
: Heidrich, N.; Knöbber, F.; Hampl, S.; Pletschen, W.; Sah, R.E.; Cimalla, V.; Lebedev, V.; Ambacher, O.

Schlaak, H.F. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-, Deutschland; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MikroSystemTechnik Kongress 2011 : 10.-12. Oktober 2011, Darmstadt
Berlin: VDE-Verlag, 2011
ISBN: 978-3-8007-3367-5
pp.269-272
Konferenz "Systems Integration - Mikrosystemtechnik-Lösungen im Gebäude der Zukunft" <4, 2011, Dortmund>
MikroSystemTechnik Kongress <2011, Darmstadt>
German
Conference Paper
Fraunhofer IAF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-207049.html