Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reinigung in der Nano-Oberflächentechnik

Workshop. Dresden, 18. November 2003, Wörlitz/Sachsen Anhalt
 
: Blau, W.; Dorner, J.
: Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-; Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik -IWS-, Kompetenzzentrum "Ultradünne Funktionale Schichten"; Fraunhofer-Allianz Reinigungstechnik; Amt für Wirtschaftsförderung, Dresden

Dresden, 2003
Workshop Reinigung in der Nano-Oberflächentechnik <2003, Dresden>
German
Conference Proceedings
Fraunhofer IPA ()
Nanotechnik; Naßreinigung; Oberflächenmodifizierung; Oberflächenreinheit; Reinigungsverfahren; Trockenreinigung; Partikelreinheit; Oberfläche; Oberflächenreinigen; Oberflächentechnik; Reinigung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-20599.html