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2011
Conference Paper
Titel
Industrielle ta-C-Beschichtungen für Komponenten und Werkzeuge
Abstract
Tetraedrische amorphe Kohlenstoffschichten (ta-C) stehen in ihrem Anteil an Diamantbindungen (sp[exp 3]) zwischen amorphen H- bzw. Me-haltigen Kohlenstoffschichten (a-C:H, a-C:Me) und Diamant. Gleichermaßen nehmen Härte und Dichte eine Zwischenstellung ein. Diamantartige sp3-Bindungen können durch Subplantation mit hoher Teilchenenergie, hohem Ionisierungsgrad zur Nachbeschleunigung (Bias) und durch niedrige Abscheidungstemperatur zur Vermeidung der Relaxation (<150 °C) erreicht werden. Die Herstellung der ta-C-Schichten erfolgt durch die Vakuumbogenverdampfung im Gleichstrombogen oder im gepulsten Hochstrombogen. Die relativ hohe Rauheit durch Arc-induzierte Partikel kann durch eine (patentierte) Schichtglättung verringert werden. Durch eine Kombination von gepulster Laserabscheidung (PLD ) und Vakuumbogenverdampfung (VAD) erhält man den lasergeregelten Lichtbogen (Laser-Arc) mit sehr guter Steuerbarkeit und guter Wirksamkeit. Laser-Arc-Module sind in beliebige PVD-Anlagen einsetzbar (z.B. LAM 500). Die ta-C-Schichten können in Automobilkomponenten, für Zerspanungs- und Umformwerkzeuge und Maschinenbaukomponenten eingesetzt werden. Als Anwendungsbeispiele werden ein trockenlaufendes Getriebe, ein Messer und ein Kugelventil beschrieben.
Language
German