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Reinraum-/Reinheitstauglichkeit von Oberflächen

	ReinraumAkademie: 5. Cleanroom Experts Days 2012 : Leipzig, 13.-14. März 2012. Reinraumgeeignete Maschinen, Geräte, Einrichtungen und Anlagen. Cleanroom Suitable Machinery, Devices, Facilities and Equipment Leipzig, 2012 24 Folien
	Cleanroom Experts Days <5, 2012, Leipzig>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Reinraumtauglichkeit; Volatile Organic Compound (VOC); Airborne Molecular Contamination (AMC); Reinigungsgerechte Objektgestaltung; chemische Resistenz; biologische Resistenz; Oberfläche; Werkstoff; Partikel; Kontamination

Abstract
Partikelkontamination
- Atmosphärische Umgebung
- Vakuumumgebung
Ausgasung aus Werkstoffoberflächen
- Quellen
- Messtechnik
- Klassifizierung
Chemikalienbeständigkeit
- Prüfvorgehensweise
- Bewertung
LifeScience-Anforderungen

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-203327.html