Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Bewertungsmatrix für unterschiedliche Reinheitsanforderungen im Reinraum

 
: Gommel, Udo

ReinraumAkademie:
5. Cleanroom Experts Days 2012 : Leipzig, 13.-14. März 2012. Reinraumgeeignete Maschinen, Geräte, Einrichtungen und Anlagen. Cleanroom Suitable Machinery, Devices, Facilities and Equipment
Leipzig, 2012
13 Folien
Cleanroom Experts Days <5, 2012, Leipzig>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; VDI 2083; Partikelkontamination

Abstract
- Branchen, Technologien und Reinheitsanforderungen
- Motivation
- Betrachtete Kontaminationsarten
- Partikel, Ausgasung, Reinigbarkeit, Verstoffwechsbarkeit, Mikrobizidität, ESD-Anforderungen
- Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von
- Betriebsmitteln
- Werkstoffen / Materialien
- Verbrauchsmaterialien.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-203325.html