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Messung optischer Funktionsflächen und Referenzmarken für die replikative Optikfertigung

Inspection of optical surface and reference marks for the manufacturing of optics by means of replication
 
: Schmitt, R.; Bichmann, S.; Mallmann, G.F.; Köllmann, D.

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
4. Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik 2011 : Messprinzipien, Messgeräte, Anwendungen ; Erlangen, 25. und 26. Oktober 2011
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2011 (VDI-Berichte 2133)
ISBN: 978-3-18-092133-4
ISSN: 0083-5560
pp.187-195
Fachtagung Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik <4, 2011, Erlangen>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Freigeformte Optiken, wie zum Beispiel LED-Vorsatzoptiken, mit starken Variationen in der Oberflächengeometrie können mit den derzeit verfügbaren Messsystemen nicht zufriedenstellend geprüft werden. Eine vielversprechende messtechnische Lösung ist die Verwendung eines Koordinatenmessgerätes in Kombination mit hochgenauen optischen Sensoren. Durch Miniaturisierung der Sensorik, Erzeugung eines geringen Messabstands und einer angepassten Strahlumlenkung ist die Messung von steilen Flanken in beengten Bauräumen möglich. Der Artikel beschäftigt sich mit der Untersuchung von miniaturisierten Präzisionssensoren basierend auf dem Prinzip der Weißlichtinterferometrie für die Prüfung von optischen Oberflächen. In Vergleichsmessungen mit einem konfokalchromatischen Sensor konnte die Eignung des weißlichtinterferometrischen Sensors nachgewiesen werden.

 

Free-formed optics, such as polymer optics for LED applications, with strong variations in the surface geometry cannot be sufficiently inspected by currently available metrology solutions. One promising solution is the measurement using a coordinate measuring machine in combination with high-precision optical sensors. Through the miniaturization of the sensor technique, the realisation of a small-distance measurement range and an adapted beam deflection, the measurement of steep slopes in confined spaces is possible. The present paper deals with the investigation of miniaturized precision sensors based on the principle of white light interferometry for testing optical surfaces. In comparative measurements with a confocal chromatic sensor, the accuracy of the measurement results are shown.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-202046.html