Fraunhofer-Gesellschaft

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Anforderungsprofil geringster Emissionen aus Werkstoffen

Vortrag gehalten auf der Lounges 2012, Vision Pharma 2012, 28. Februar bis 1. März 2012, Karlsruhe
 
: Bürger, Frank; Keller, Markus

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MD5 Fingerprint: ec0592f795d247627aa5bf1a49be3eb0
Created on: 5.4.2012


2012, 39 Folien, Session 16: CSM - Cleanroom Suitable Materials - Werkstoffe für die sauberkeitskritische Produktion, 29.2.2012
Messe "Lounges" <2012, Karlsruhe>
Messe "Vision Pharma" <2012, Karlsruhe>
German
Presentation, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Cleanroom suitable materials (CSM); Ausgasung; VDI 2083 Blatt 17; Reinraum; Emission; Partikel; Werkstoff

Abstract
Der Grad partikulärer und molekularer Emissionen aus Materialien entscheidet über deren Eignung für reinheitskritische Prozesse unter Reinraumbedingungen. Werden Materialpaarungen tribologisch belastet, entsteht Partikelabrieb, welcher zu einem beträchtlichen Teil in die Umgebungsluft abgegeben wird. Unter Vakuumbedingungen können sich Partikelemissionen bei tribologischer Belastung deutlich von ermittelten Werten unter Atmosphärendruck unterscheiden. Aus fast allen Materialien gasen molekulare Verbindungen in die Umgebungsluft aus. Es gilt, diese Kontaminationsquellen der eingesetzten Materialien qualitativ als auch quantitativ zu erfassen. Der Vortrag skizziert die in der Richtlinie VDI 2083 Blatt 17 standardisierte Vorgehensweise von Materialtests für reinraumtaugliche Materialien für partikuläre und molekulare Emissionen. Zusätzlich zeigt der Vortrag eine am Fraunhofer IPA entwickelte Methodik zur Messung von Partikelemissionen unter Hochvakuumbedingungen auf.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-199762.html