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Konferenzschrift
Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
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2004
Conference Paper
Titel
Parametric variational finite element method for MEMS electrostatic problems
Author(s)
Shaporin, Alexey
Kolchuzhin, V.
Mehner, J.
Dötzel, W.
Hauptwerk
10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004. Tagungsband
Konferenz
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004
Language
English
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Fraunhofer-Institut fĂĽr Elektronische Nanosysteme ENAS