Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Geometrically parameterized finite element model of a silicon strain gauge

 
: Kolchuzhin, V.; Mehner, J.; Doetzel, W.

Dötzel, W.:
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik : 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2005
ISBN: 3-00-016889-3
pp.190-195
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik <7, 2005, Chemnitz>
English
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-199250.html