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Konferenzschrift
Validierung der AIM Technologie: Darstellung der Leistungsfähigkeit anhand hergestellter Sensor- und Aktorstrukturen
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2005
Conference Paper
Title
Validierung der AIM Technologie: Darstellung der Leistungsfähigkeit anhand hergestellter Sensor- und Aktorstrukturen
Author(s)
Lohmann, C.
Bertz, Andreas
Reuter, Danny
Küchler, Matthias
Geßner, Thomas
Mainwork
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 2005
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
