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Konferenzschrift
Mikrospiegelspektrometer für den Nahinfraroten Spektralbereich - Applikationen & Trends
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2007
Conference Paper
Titel
Mikrospiegelspektrometer für den Nahinfraroten Spektralbereich - Applikationen & Trends
Author(s)
Otto, Thomas
Saupe, Ray
Weiß, Alexander
Stock, V.
Geßner, Thomas
Hauptwerk
Mikro-System-Technik Chemnitz '07: Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2007
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS