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Hochtransparente Thermoplaste in plasmagestützten PVD-Beschichtungsprozessen

 
: Munzert, P.; Schulz, U.; Kaiser, N.

Radusch, H.-J. ; Universität Halle, Saale / Fachbereich Ingenieurwissenschaften; Univ. Halle-Wittenberg, Institut für Polymerwerkstoffe e.V.:
Polymerwerkstoffe 2002. Vol.1: Vorträge : P2002, Eigenschaften, Verarbeitung, Modifizierung, Anwendung, Internationale Fachtagung, Halle (Saale), 25. - 27. September 2002
Halle: Universität Halle, 2002
ISBN: 3-86010-656-2
pp.544-547
Tagung Polymerwerkstoffe <2002, Halle, Saale>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()
Kunststoff; optische Schicht; Grenzflächenreaktion; degradation

Abstract
Hochtransparente thermoplastische Kunststoffe werden auch in Zukunft eine herausragende Rolle als Materialien für optische Komponenten spielen. Im Vergleich zu Glas bieten Kunststoffe für viele optische Anwendungen aufgrund ihrer leichten Verarbeitbarkeit, ihres geringen Gewichts und ihres verhältnismäßig niedrigen Preises erhebliche Vorteile. Polymethylmethacrylat (PMMA) und Polycarbonat (PC) sind noch immer die am häufigsten eingesetzten Kunststoffe für präzisionsoptische Anwendungen; seit Mitte der neunziger Jahre ist jedoch eine neue Klasse amorpher Thermoplaste, die Cycloolefinpolymere (COP, Handelsname Zeonexâ) und -copolymere (COC, Handelsname Topasâ) hinzugekommen. Viele Komponenten der Optik erfüllen ihre Funktion erst nach Aufbringen von dünnen Schichten oder Schichtsystemen. Antireflexbeschichtungen und andere Interferenzschichtsysteme werden zunehmend auch auf Kunststoffoptiken gefordert. Schichtsysteme mit stabilen optischen Eigenschaften werden bei niedrigen Temperaturen bevorzugt durch Vakuumbedampfungsverfahren (PVD) erzeugt in denen die aufwachsende Schicht durch Beschuss mit hochenergetischen Ionen aus einem Plasma aktiviert und verdichtet wird (Plasma-IAD). Für die Entwicklung eines Kunststoffbeschichtungsprozesses muss das Verhalten des Substratmaterials unter den Bedingungen, die bei diesem Beschichtungsverfahren auftreten, berücksichtigt werden. Gegenstand der hier vorgestellten Untersuchungen ist das Verhalten ausgewählter, für optische Anwendungen geeigneter, Ze onex®-, Topas®-, PMMA- und PC-Typen unter UV-Bestrahlung, Plasmabehandlung und I onenbeschuss. Es werden sowohl Änderungen der Oberflächeneigenschaften der Substrate als auch Änderungen der optischen Eigenschaften des Bulkmaterials aufgezeigt. Testbeschichtungen mit Schichtmaterialien, die für Antireflexschichtsysteme typisch sind, wurden auf Haftfestigkeit und Klimabeständigkeit der Einzelschichten charakterisiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-19909.html