Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Entwicklung einer Verkappungstechnologie für optisch transparente MEMS/NEMS-Gehäuse mit niedrigem Temperatureintrag

 
: Haubold, M.; Leidich, S.; Wiemer, M.; Geßner, T.; Schubert, I.

Schlaak, H.F. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-, Deutschland; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MikroSystemTechnik Kongress 2011 : 10.-12. Oktober 2011, Darmstadt
Berlin: VDE-Verlag, 2011
ISBN: 978-3-8007-3367-5
pp.249-252
MikroSystemTechnik Kongress <2011, Darmstadt>
German
Conference Paper
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-198874.html