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Konferenzschrift
HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
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2011
Conference Paper
Titel
HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung
Author(s)
Leidich, S.
Kurth, Steffen
Nowack, M.
Bertz, Andreas
Froemel, J.
Kaufmann, C.
Geßner, Thomas
Hauptwerk
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Konferenz
Konferenz "Systems Integration - Mikrosystemtechnik-Lösungen im Gebäude der Zukunft" 2011
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS