Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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A novel approach for increasing the strength of an Au/Si eutectic bonded interface on an oxidized silicon surface

 
: Haubold, M.; Lin, Y.; Frömel, J.; Wiemer, M.; Esashi, M.; Geßner, T.

:

Microsystem Technologies 18 (2012), No.4, pp.515-521
ISSN: 0946-7076
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Journal Article
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-198826.html