Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Werkstoffe für den Einsatz unter sauberkeitskritischen Bedingungen

 
: Gommel, Udo; Bürger, Frank

:
Preprint urn:nbn:de:0011-n-1946354 (600 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: bfe7f47d3ced1e88c1fb2e0ee1e8b0b1
Created on: 25.10.2012


VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik:
Reinraumtechnik : 14. VDI-Tagung, Nürtingen, 26. und 27. Oktober 2011
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2011 (VDI-Berichte 2125)
ISBN: 978-3-18-092125-9
pp.99-116
Tagung Reinraumtechnik <14, 2011, Nürtingen>
German
Conference Paper, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; Ausgasung; Reinraum; Werkstoff; Partikel; Chemikalienbeständigkeit

Abstract
In reinen Produktionsprozessen werden die produktnah verwendeten Werkstoffe immer wichtiger, da sie in erheblichem Maße für die Produktqualität verantwortlich sind. Lüftungstechnik im umgebenden Reinraum kann dies nur bedingt verhindern. Relevante Kriterien sind mit Prüfverfahren und Klassifizierungssystemen in der VDI 2083 Blatt 9.1 definiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-194635.html