Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Bestimmung der Messunsicherheit im Mikrometer-Bereich - Strategien, Modelle und Einflussfaktoren

 
: Tan, Özgür; Krah, Thomas; Neuschaefer-Rube, Ulrich; Ehrig, Wiebke; Herffurth, Tobias; Schröder, Sven; Lyda, Wolfram; Eigenbrod, Hartmut; Hoffmann, R.; Weißensee, Karina; Apel, Sebastian; Pedrini, Giancarlo; Gaspar, J.; Schrader, Christian; Zschiegner, N.

Weckenmann, Albert (Hrsg.) ; Deutsche Forschungsgemeinschaft -DFG-, Bonn; Univ. Erlangen-Nürnberg, Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmesstechnik:
Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen : Abschlussbericht DFG-Schwerpunktprogramm 1159 StraMNano
Aachen: Shaker, 2011
ISBN: 978-3-8440-0358-1
pp.188-205
German
Book Article
Fraunhofer IPA ()
Messunsicherheit; Mikrosystemtechnik; Guide for the Uncertainty of Measurement (GUM); Messen

Abstract
Die Entwicklung von neuen Mess- und Prüfstrategien erfordert eine Bewertung der Messunsicherheit dieser Strategien, um die Aussagekraft der Messwerte quantifizieren und darauf basierend Entscheidungen ableiten zu können. Dies gilt insbesondere für den Einsatz der Strategien bei der Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen. In diesen Größenordnungen gibt es bislang nur wenige Beispiele für Handlungsanweisungen, um die Messunsicherheit zu bestimmen. Anhand verschiedener praktischer Beispiele wird dargestellt, wie eine aufgabenangepasste Bestimmung der Messunsicherheit erfolgen kann.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-193206.html