Fraunhofer-Gesellschaft

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Puls-Arc-Technik für die Abscheidung von harten Kohlenstoffschichten

 
: Weihnacht, V.; Grimm, W.

Wielage, B. ; TU Chemnitz-Zwickau, Lehrstuhl für Verbundwerkstoffe:
5. Industriefachtagung "Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik" (OWT '03) und 6. Werkstofftechnisches Kolloquium (WTK). Tagungsband. Band 1 : 25.-26. Sep. 2003, Chemnitz
Chemnitz, 2003 (Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen 16)
ISBN: 3-00-011951-5
pp.259-264
Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik (OWT) <5, 2003, Chemnitz>
Werkstofftechnisches Kolloquium (WTK) <6, 2003, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Ein hoher Verschleißwiderstand wird in der Regel durch eine hohe Härte und eine geringe Adhäsionsneigung gewährleistet. Superharte amorphe Kohlenstoffschichten mit Härten > 4000 HV und Reibungskoeffizienten nahe 0,1 stellen deshalb ein ideales Schichtsystem für den Verschleißschutz dar. Ihre breitere industrielle Anwendung wurde bisher durch mehrere werkstoffkundliche bzw. technologische Defizite behindert: 1) Beschränkung der Schichtdicken auf wenige 100 nm, 2) ungenügende Effektivität der Verfahren, 3) ungenügende Oberflächenqualität (Mikropartikel). Diese Einschränkungen können durch Nutzung gepulster Vakuumbogenentladungen überwunden werden. Neuere Entwicklungen der Pulsbogentechnologien im Fraunhofer-IWS D resden und der INOVAP GmbH Dresden zeigen, dass sich mit derartigen Verfahren sowohl Mikrometer-Schichten wie auch ultradünne Präzisionsschichten in effektiver Weise abscheiden lassen. Damit sind jetzt die Voraussetzungen für die breitere Einführung dieser neuen Generation von Verschleißschutzschichten geschaffen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-18748.html