Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Meßtechnik im Reinraum

Clean Manufacturing - Contamination Control
 
: Ernst, C.

Dorner, J. ; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Technische Akademie Esslingen -TAE-, Weiterbildungszentrum:
Produzieren unter reinen Bedingungen : Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends. Lehrgang, 3. März 1999, Ostfildern
Ostfildern, 1999
Lehrgang Produzieren Unter Reinen Bedingungen <1999, Ostfildern>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Reine Produktion; Reinstproduktion; Reinheitszustand; Reinheitsspezifikation; Partikelzähler; Clean manufacturing; cleanliness; cleanroom; Kontaminationskontrolle; contamination control; particle counter; Reinraum; Fertigung; Teilchen

Abstract
Anwendbare und anzuwendende Meßmethoden und Meßtechnik sind produktabhängig. Je nach Qualitäts- und Prozesserfordernissen, muß Spurenanalytik zur Qualitätssicherung eingesetzt werden. Wichtige Grundlage zur wirtschaftlichen Herstellung und Überwachung sind Reinheitsspezifikationen für Produkte und Prozesse.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-187.html