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1999
Conference Paper
Titel
Meßtechnik im Reinraum
Alternative
Clean Manufacturing - Contamination Control
Abstract
Anwendbare und anzuwendende Meßmethoden und Meßtechnik sind produktabhängig. Je nach Qualitäts- und Prozesserfordernissen, muß Spurenanalytik zur Qualitätssicherung eingesetzt werden. Wichtige Grundlage zur wirtschaftlichen Herstellung und Überwachung sind Reinheitsspezifikationen für Produkte und Prozesse.
Language
German