Fraunhofer-Gesellschaft

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Hochempfindliche Dünnschichtsensoren basierend auf Terahertz-Wellenleitern

Highly sensitive thin film sensors using terahertz waveguides
 
: Theuer, M.; Grischkowsky, D.; Beigang, R.

:

Technisches Messen : TM 78 (2011), No.5, pp.268-273
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
German
Journal Article
Fraunhofer IPM ()
Terahertz Strahlung; Sensorik; Schichtdickenbestimmung; Dünnfilmnachweis; Wellenleiter

Abstract
Terahertz Zeitbereichs-Spektroskopie ist in der Lage, durch Laufzeitanalyse dünne dielektrische Schichten aufzulösen. Durch die neue Messanordnung eines Zwei-Zylinder Wellenleiters konnte die Empfindlichkeit um den Faktor 150 auf bis zu 2,5 Mikrometer gesteigert werden. Eine Fehlerabschätzung lässt sogar eine sub-Mikrometer Auflösung erwarten. Selbst auf metallischen Folien ist dadurch die Dicke von dünnsten dielektrischen Schichten präzise zu bestimmen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-186246.html