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2011
Conference Paper
Titel
Smarte adaptive-optische Mikrosysteme - Aufbautechnologie und thermomechanische Charakterisierung
Alternative
Smart adaptive-optical microsystems - assembly technology and thermo-mechanical characterization
Abstract
Deformierbare Spiegel als adaptiv-optisches Element für den Einsatz bei hohen Laserleistungen erfordern neuartige Fertigungskonzepte. Insbesondere bei der Aufnahme dünner, keramischer Spiegelmembranen werden hohe Anforderungen an die Montage- und Fügetechnologie gestellt. Das laserbasierte Solderjet Bumping wird als stoffschlüssiges, flussmittelfreies Fügeverfahren für das Fassen LTCC-basierter Membranen vorgestellt. Durch Einzellotvolumina von 230 nl werden für AlSi70 bzw. W85Cu als Fassungsmaterial ultimative Scherkräfte zwischen 15,1 N und 24,0 N erzielt. Die piezoelektrisch aktivierte Auslenkung einer so gefassten Spiegelmembran mit 19 Aktoren beträgt bis zu 16 µm bei einer Resonanzfrequenz größer als 2,5 kHz und einer individuellen Auslenkung von Einzelaktoren zwischen 1,3 µm und 3,6 µm.