Fraunhofer-Gesellschaft

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Smarte adaptive-optische Mikrosysteme - Aufbautechnologie und thermomechanische Charakterisierung

Smart adaptive-optical microsystems - assembly technology and thermo-mechanical characterization
 
: Burkhardt, T.; Bruchmann, C.; Kamm, A.; Hornaff, M.; Beckert, E.; Gebhardt, S.; Müller, J.; Hoffmann, M.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.

Schlaak, H.F. ; Bundesministerium für Bildung und Forschung -BMBF-, Deutschland; Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik -VDE-:
MikroSystemTechnik Kongress 2011 : 10.-12. Oktober 2011, Darmstadt
Berlin: VDE-Verlag, 2011
ISBN: 978-3-8007-3367-5
pp.587-590
Konferenz "Systems Integration - Mikrosystemtechnik-Lösungen im Gebäude der Zukunft" <4, 2011, Dortmund>
MikroSystemTechnik Kongress <2011, Darmstadt>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Deformierbare Spiegel als adaptiv-optisches Element für den Einsatz bei hohen Laserleistungen erfordern neuartige Fertigungskonzepte. Insbesondere bei der Aufnahme dünner, keramischer Spiegelmembranen werden hohe Anforderungen an die Montage- und Fügetechnologie gestellt. Das laserbasierte Solderjet Bumping wird als stoffschlüssiges, flussmittelfreies Fügeverfahren für das Fassen LTCC-basierter Membranen vorgestellt. Durch Einzellotvolumina von 230 nl werden für AlSi70 bzw. W85Cu als Fassungsmaterial ultimative Scherkräfte zwischen 15,1 N und 24,0 N erzielt. Die piezoelektrisch aktivierte Auslenkung einer so gefassten Spiegelmembran mit 19 Aktoren beträgt bis zu 16 µm bei einer Resonanzfrequenz größer als 2,5 kHz und einer individuellen Auslenkung von Einzelaktoren zwischen 1,3 µm und 3,6 µm.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-185673.html