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2011
Conference Paper
Titel
Sensorentwicklung für energieautarke Mikrosysteme in Werkzeugmaschinen
Alternative
Sensor development for energy self-sufficient microsystems in tool machines
Abstract
Energieautarke Mikrosysteme gewinnen in der heutigen Zeit immer mehr an Bedeutung. Zur Nutzung dieser innovativen Technologie werden Sensoren mit einer geringeren Leistungsaufnahme benötigt. Das Fraunhofer IST entwickelt Technologien zur Herstellung piezoresistiver Dünnschichtsensoren auf Basis von amorphen Kohlenwasserstoff mit geringer Leistungsaufnahme. Mit Hilfe der Mikrosystemtechnik werden die Sensorsysteme auf die mechanischen Bauteile appliziert, wo sie der Erfahrung von zustands- und betriebsrelevanten Informationen dienen. Am Beispiel eines intelligenten Kugelgewindetriebs sollen die Betriebs- und Verschleißzustände während des dauerhaften Einsatzes erfasst werden. Hierzu dient die Auswertung der Druck- und Temperaturdaten im Kugelgewindetrieb.
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Today energy self-sufficient microsystems become more and more important. In general, sensors with low power consumption are necessary to use this innovative technology. The Fraunhofer IST develops technologies for the production of piezoresistive thin film layer sensors based on amorphous hydrocarbon with low power consumption. With the aid of microsystem technology the sensory systems are administered on mechanical components. From there the sensory systems serve as acquisition of information about condition and operation relevance. As an example, an intelligent ball drive records the operating state during the lasting application. Therefore, the evaluation of the pressure and temperature data ball screw drives, are required.