Flexibles taktiles Sensorarray für Robotik- und Prothetikanwendungen

Taktile Sensoren, welche die Auflösung der menschlichen Haut erreichen und wie diese auch andere physikalische Größen wie z.B. Temperatur messen können, sind für die Anwendung in der Robotik und in der Prothetik von großem Interesse. In diesem Beitrag werden ein taktiles Sensorarray aus CMOS integrierten kapazitiven Drucksensoren vorgestellt und Dünnungsexperimente präsentiert, die zeigen, dass sich die verwendeten Drucksensoren ohne Beschädigung auf 55 µm dünnen lassen.

Tactile sensors, which achieve the resolution of the human skin and which are able to measure other physical parameters, e.g. temperature, are very interesting for applications in robotics and prosthetics. In this paper a tactile sensor array based on CMOS integrated capacitive pressure sensors is presented and thinning experiments are shown that demonstrate the feasibility of thinning the used pressure sensors down to 55 µm without damaging them.