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2011
Conference Paper
Titel
Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Abstract
Bei verschiedensten technischen Komponenten wird die Forderung nach steigender Leistung und Geschwindigkeit, sowie Reduzierung von Gewicht und Energiebedarf mit einem Miniaturisierungsprozess realisiert. Dieser seit mehreren Jahrzehnten beobachtbare und anhaltende Trend zur Miniaturisierung von Strukturen in Wissenschaft und Technik bedingt dabei nicht zuletzt die Bereitstellung kontrolliert "reiner" Produktionsumgebungen in Form von Reinräumen. Deren Aufgabe ist es, produktschädigende Einflüsse zu minimieren. Je nach Branche und Prozess haben dabei unterschiedliche Reinheitsfaktoren eine produktschädigende Wirkung: Partikel, Ausgasung, Mikroorganismen, ESD etc. Bei den Kontaminationsquellen ist in den letzten Jahren ein Wandel zu beobachten: Der Reinraum selbst besitzt nur noch einen marginalen Einfluss auf die Kontaminationen der Fertigung. Auch das Personal verliert durch seine Verdrängung aus den kritischen Bereichen zunehmend an Kontaminationspotenzial. Im Gegenzug wächst durch den vermehrten Einsatz von Automatisierungslösungen das von Produktionsanlagen ausgehende Kontaminationsrisiko stark an. Diese Veröffentlichung zeigt am Beispiel der Partikelabgabe exemplarisch auf, wie die Eignung von Betriebsmitteln und Produktionsanlagen für den Reinraum nach VDI 2083, Blatt 9.1 ermittelt werden kann.
Language
German