Fraunhofer-Gesellschaft

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WaferLevelOptics - Neuer Ansatz zur Herstellung mikrooptischer Komponenten aus Glas

WaferLevelOptics - a new solution for the production of micro-optic components from glass
 
: Hünten, M.; Hollstegge, D.; Wang, Y.; Krappig, R.; Dambon, O.; Klocke, F.

Photonik 43 (2011), No.3, pp.68-70
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

Abstract
Ausgehend vom steigenden Bedarf an komplexen mikrooptischen Komponenten, verfolgt ein Konsortium (Forschungsprojekt WaferLevelOptics) das Ziel, die Herstellung von Mikrooptiken aus Glas zu ermöglichen. Ausgangspunkt bilden Kunststoffoptiken, die sich mit replikativen Verfahren herstellen lassen. Darauf aufbauend, wird die Prozesskette der waferbasierten Fertigung von Glas-Mikrooptiken durch ein Präzisionsblankpressen untersucht. Die Anforderungen der replikativen Verfahren sind bereits früh beim Optikdesign zu berücksichtigen, wie Vermeidung scharfkantiger Übergänge, Auswahl geeigneter Glasmaterialien und Nutzung neuer Gestaltungsmöglichkeiten (sphärische oder asphärische Komponenten). Weiter werden vorgestellt Design der Formwerkzeuge und Prozesssimulation, Fertigung der Formwerkzeuge, Abformung der Glaswafer sowie Ausrichtung und Montage.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-178123.html