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2011
Journal Article
Titel
Transparentes leitfähiges TiO2:Nb - ein TCO-Material der Zukunft?
Titel Supplements
Neue TCO Materialien für die transparente Elektronik und Photovoltaik
Alternative
Transparent conductive TiO2:Nb - a TCO material of the future?
Abstract
Niob dotiertes Titanoxid ist ein noch weitestgehend unbekanntes TCOMaterial. Mittels Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern wurden polykristalline TiO2:Nb-Schichten in einer produktionsähnlichen Beschichtungsanlage abgeschieden und die Eigenschaften der Schichten untersucht. Eine mittels Gleichstrom gesputterte 100 nm dicke TiO2:Nb-Schicht zeigt nach einer thermischen Behandlung bei 450 °C einen niedrigen spez. elektr. Widerstand von 7,2 x 10-4 Ohm cm, einen Extinktionskoeffizienten von 0,02 und eine Transmission im sichtbaren Spektralbereich von 74,8%.