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Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
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2010
Journal Article
Titel
Metallisierungsverfahren für die 3D Integration in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
Author(s)
Hofmann, Lutz
Ecke, Ramona
Schulz, Stefan E.
Geßner, Thomas
Zeitschrift
Galvanotechnik
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS