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Konferenzschrift
Miniaturisiertes Spektrometermodul für den mittleren und langwelligen Infrarotbereich mit mikromechanischem Dual-Band Fabry-Pérot Filter
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2010
Conference Paper
Titel
Miniaturisiertes Spektrometermodul für den mittleren und langwelligen Infrarotbereich mit mikromechanischem Dual-Band Fabry-Pérot Filter
Author(s)
Ebermann, M.
Neumann, N.
Hoppe, S.
Hiller, Karla
Gittler, E.
Meinig, Marco
Kurth, Steffen
Hauptwerk
Mikro-System-Technik Chemnitz 2010. Mikromechanik & Mikroelektronik
Konferenz
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2010
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS