Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Micro mirror arrays for VLSI mask fabrication

 
: Schenk, H.; Dauderstädt, U.; Dürr, P.; Lakner, H.K.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, München:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Annual Report 2002
Duisburg, 2003
ISSN: 1435-0874
pp.59-61
English
Book Article
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-17716.html