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Partikeldetektor und Verfahren zur Detektion von Partikeln

Particle detector for detection of particles on upper surface, has light source, detector for detection of light and light-sensitive collector, which has multiple optical fibers
 
: Grimme, Ralf

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DE 102009041268 A: 20090911
DE 102009041268 A: 20090911
G01N0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Partikeldetektor zur Detektion von Partikeln auf einer Oberflaeche mit zumindest einer Lichtquelle, zumindest einem Detektor zur Detektion von Licht sowie zumindest einem Lichtkollektor, der eine Vielzahl von Lichtleitfasern aufweist, wobei je Lichtleitfaser eine Eingangsstirnflaeche der entsprechenden Lichtleitfaser der Oberflaeche so gegenueber anordenbar ist, dass Licht aus Richtung der Oberflaeche auf die entsprechende Eingangsstirnflaeche fallen kann, und die jeweils andere Stirnflaeche der Lichtleitfasern so an zumindest einen der zumindest einen Detektoren grenzt, dass aus ihr austretendes Licht mit dem Detektor detektierbar ist, und wobei das durch die Lichtquelle erzeugte Licht in einem solchen Winkel zur Oberflaeche ueber die Oberflaeche strahlbar ist, dass durch die Oberflaeche reflektiertes Licht auf die Eingangsstirnflaechen der Lichtleitfasern nicht einfaellt oder mit einem Winkel einfaellt, der ausserhalb eines Akzeptanzwinkels der Lichtleitfasern liegt.

 

EP 2295955 A2 UPAB: 20110331 NOVELTY - The particle detector has a light source (2), a detector (8) for detection of light and a light-sensitive collector, which has multiple optical fibers. Each optical fiber has an entrance front surface of appropriate optical fiber of upper surface (1) arranged opposite to each other in such a manner that light (3) falls from direction of upper surface on appropriate entrance front surface. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for detection of particles on upper surface. USE - Particle detector for detection of particles on upper surface. ADVANTAGE - Each optical fiber has an entrance front surface of appropriate optical fiber of upper surface arranged opposite to each other in such a manner that light falls from direction of upper surface on appropriate entrance front surface, and hence ensures an economical particle detector.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-174857.html