Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikrowellenplasma-Simulation, Abscheidung und Charakterisierung von polykristallinen, dotierten und undotierten Diamantschichten

Microwaveplasma simulation, deposition and characterisation of polychristalline, doped and undoped dimond films
 
: Pleuler, E.

Freiburg, 2003, 129 pp.
Freiburg/Brsg., Univ., Diss., 2003
German
Dissertation
Fraunhofer IAF ()
microwave plasma; Mikrowellenplasma; CVD; simulation; polycrystalline diamond; polykristalliner Diamant; CAP-reactor; CAP-Reaktor; boron doping; Bor-Dotierung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-17391.html