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2002
Conference Paper
Titel
Medien
Alternative
Clean fluids
Abstract
Hauptanwendungen für Reinstmedien bestehen in der Chipindustrie, Pharmaindustrie sowie in der Reinigungstechnologie verschiedenster Industriezweige. Reinstwasser und Reinstdruckluft sind die am häufigsten eingesetzten Medien und werden quasi vor Ort vom Anwender selbst produziert. Je nach gefordertem Reinheitsgrad kann die Kontrolle der Medienqualität messtechnisch sehr aufwändig sein. Sauberkeitsmodelle für Reinstgase und Chemikalien sind u. a. aus messtechnischen Gründen nicht gestaltbar und tragfähig.