Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ansätze zur Qualitätsprüfung großflächig mikrostrukturierter Oberflächen

 
: Schneefuß, K.; Pfeifer, T.

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2003 (VDI-Berichte 1669)
ISBN: 3-18-091669-9
ISSN: 0083-5560
pp.63-72
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) <2003, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-171926.html