Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Kalibrierung und Rückführung von Interferometern

 
: Bai, A.; Geckeler, R.D.; Pfeifer, T.

VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2003 (VDI-Berichte 1669)
ISBN: 3-18-091669-9
ISSN: 0083-5560
pp.147-158
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) <2003, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-171925.html