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Konferenzschrift
Kalibrierung und Rückführung von Interferometern
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2003
Conference Paper
Title
Kalibrierung und Rückführung von Interferometern
Author(s)
Bai, Alexander
Geckeler, R.D.
Pfeifer, Tilo
Mainwork
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik
Conference
VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) 2003
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnologie IPT
