Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Kalibrierung und Rückführung von Interferometern
| VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik -GMA-, Düsseldorf:
Metrologie in der Mikro- und Nanotechnik : Tagung Stuttgart, 12. und 13. Februar 2003
Düsseldorf: VDI-Verlag, 2003 (VDI-Berichte 1669)
ISBN: 3-18-091669-9
ISSN: 0083-5560
pp.147-158 |
| VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik (Tagung) <2003, Stuttgart> |
|
| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer IPT () |