Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Application of electron tomography for semiconductor device analysis

 
: Kübel, C.; Lee, T.-C.; Su, D.; Luo, J.-S.; Lo, H.-M.; Russell, J.

:

Microscopy and microanalysis 12 (2006), Suppl.2, pp.1552-1553
ISSN: 1431-9276
English
Journal Article
Fraunhofer IFAM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-171908.html