Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Werkstofftrends: Gasphasen-Abscheideverfahren

 
: Notthoff, C.; Kohlhoff, J.; Reschke, S.; Kretschmer, T.

Werkstoffe in der Fertigung (2003), No.2, pp.3
ISSN: 0176-6058
ISSN: 0939-2629
German
Journal Article
Fraunhofer INT ()
Gasphasen-Abscheideverfahren; Überblick; Entwicklungstrend; synopsis; technological trend; vapour deposition method

Abstract
Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Gasphasen-Abscheideverfahren zur Herstellung von Werkstoffen. Behandelt werden technologische Grundlagen und Anwendungsmöglichkeiten.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-17072.html