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2003
Journal Article
Titel
Werkstofftrends: Gasphasen-Abscheideverfahren
Abstract
Der Artikel gibt einen kurzen Überblick über den Stand der Technik und die Entwicklungstrends auf dem Gebiet der Gasphasen-Abscheideverfahren zur Herstellung von Werkstoffen. Behandelt werden technologische Grundlagen und Anwendungsmöglichkeiten.
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