Fraunhofer-Gesellschaft

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Oberflächen-Partikelmeßtechnik

Particle measurement on surfaces
 
: Grimme, R.; Rochowicz, M.

VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung:
Reinraumtechnik '99. Molekulare Kontamination, Qualifizierung und Messtechnik, Systemoptimierung
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1999 (VDI-Berichte 1482)
ISBN: 3-18-091482-3
pp.17-21
Tagung Reinraumtechnik <1999, Nürnberg>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Inspektion; cleanroom; Teilchen; Oberfläche; Kontamination; Wartung; Reinraum

Abstract
Für die "Reine Produktion" ist die Bereitstellung von Einrichtungen und Medien mit bekannten Qualitäten von enormer Wichtigkeit. Zur Überprüfung der partikulären Reinheit von technischen Oberflächen standen nur indirekte Meßverfahren, mit verfahrenstechnischen Nachteilen, zur Verfügung. Ein neues, direkt arbeitendes Verfahren und Gerät wird vorgestellt, welches die Klassifizierung des Reinheitsgrades von technischen Oberflächen erlaubt.

 

Equipment and media providing approved already is of high importance for "Clean Production". Existing testing methods for particular cleanliness of technical surfaces are indirect measuring methods with process related disadvantages. We present now a direct method as well as a tool which allows the purity degree classification of technical surfaces.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-170.html